Литографија је техника за преношење дизајнираног узорка директно или преко средњег медијума на равну површину, искључујући делове површине којима није потребан шаблон. У литографији маске, дизајни се штампају на подлози и излажу са аласертако да се депоновани материјал угризе, спреман за даљу обраду. Ова метода литографије се широко користи у масовној производњи полупроводничких плочица. Могућност пројектовања оштрих слика малих карактеристика на плочици је ограничена таласном дужином светлости која се користи. Најнапреднији алати за литографију данас користе дубоко ултраљубичасто светло (ДУВ), а у будућности ће ове таласне дужине наставити да обухватају дубоко ултраљубичасто (193 нм), вакуум ултраљубичасто (157 нм и 122 нм) и екстремно ултраљубичасто (47 нм и 13 нм) ). Сложени производи и честе промене дизајна за ИЦ, МЕМС и биомедицинска тржишта – где потражња за различитим функцијама и величинама супстрата расте – повећали су трошкове производње ових високо прилагођених решења уз истовремено смањење обима производње. Традиционална решења за литографију заснована на маски (маска) нису исплатива или практична за многе од ових примена, где се трошкови и време потребно за пројектовање и производњу великог броја комплета маски могу брзо повећати. Међутим, апликације литографије без маске нису ометене потребом за екстремно кратким УВ таласним дужинама, већ се уместо тога користеласеризвори у плавом и УВ опсегу. У литографији без маске,ласердиректно генерише микро/нано структуре на површини фотоосетљивих материјала. Овај свестрани метод литографије не ослања се на потрошни материјал за маске и промене распореда се могу извршити брзо. Као резултат тога, брза израда прототипа и развој постају лакши, уз већу флексибилност дизајна, уз задржавање предности покривања велике површине (као што су полупроводничке плочице од 300 мм, равни екрани или ПЦБС). Да бисмо испунили захтеве брзе производње,ласерикоји се користе за литографију без маске имају сличне карактеристике као и за маске: Извор светлости непрекидног таласа има дуготрајну снагу и стабилност таласне дужине, уску ширину линије и малу промену маске. Дуготрајна стабилност уз мало одржавања или прекида производних циклуса је важна за обе апликације. ДПСС ласер има ултра стабилну уску ширину линије, стабилност таласне дужине и стабилност снаге и погодан је за две методе литографије. Дизајнирамо и производимо једнофреквентне ласере велике снаге са стабилношћу таласне дужине без премца, уском ширином линије и малим отиском у опсегу таласних дужина дугих сувих дужина -- што их чини идеалним за интеграцију у постојеће системе.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
